二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、英: Secondary Ion Mass Spectrometry、略称:SIMS)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(と呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(と呼ばれる)を質量分析計で検出するである。

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  • 二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、英: Secondary Ion Mass Spectrometry、略称:SIMS)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(と呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(と呼ばれる)を質量分析計で検出するである。 (ja)
  • 二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、英: Secondary Ion Mass Spectrometry、略称:SIMS)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(と呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(と呼ばれる)を質量分析計で検出するである。 (ja)
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  • 二次イオン質量分析法 (ja)
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