真空フランジ(しんくうフランジ)は、真空装置で真空チャンバーと真空ポンプや真空部品を接続するためのシール機能を持った接合するための真空部品である。材質は主に真空用材料から選定される。

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  • 真空フランジ(しんくうフランジ)は、真空装置で真空チャンバーと真空ポンプや真空部品を接続するためのシール機能を持った接合するための真空部品である。材質は主に真空用材料から選定される。 (ja)
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  • 真空フランジ (ja)
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