真空用材料（しんくうようざいりょう）は、真空装置の真空チャンバーや真空部品などを構成する材料である。通常のと違う点は、真空中での放出ガスが少なく、放出ガスの成分がある程度判別されていることである。 また、真空装置でもCVD装置などに使用される場合には、プロセスに使用されるガスに対する耐性なども検討し採用する必要がある。
