大気圧プラズマ(たいきあつプラズマ)とは、大気圧下で発生させたプラズマのことで、対義としては低圧プラズマ()がある。 一般的に、プラズマは発生させるときの圧力が低いほど低電圧で済み、平均自由行程が長く、プラズマを制御しやすいといった傾向がある。代わりに、低圧プラズマはプラズマ密度が低いため反応性が悪く、処理ごとに真空引きを行う必要がある。 大気圧プラズマは、連続処理に向いているため生産性が高く、真空装置が不要であるため処理コストが低く、簡単な装置構成で済むといった特徴がある。大気圧プラズマは、コロナ放電、誘電体バリア放電、、、アーク放電といった方法で発生でき、ArやHeといったガスで発生させ易くできる。
Property | Value |
---|---|
dbo:abstract |
|
dbo:wikiPageID |
|
dbo:wikiPageLength |
|
dbo:wikiPageRevisionID |
|
dbo:wikiPageWikiLink | |
prop-ja:wikiPageUsesTemplate | |
dct:subject | |
rdfs:comment |
|
rdfs:label |
|
prov:wasDerivedFrom | |
foaf:isPrimaryTopicOf | |
is dbo:wikiPageWikiLink of | |
is owl:sameAs of | |
is foaf:primaryTopic of |