キヤノンアネルバ株式会社は、真空技術や成膜加工技術で真空薄膜製造装置や製品の開発・製造・販売・サービス事業を展開する企業。 現在はキヤノンの子会社だが、当初はNECグループに所属していた。社名の「アネルバ」とは、アナリシス(分析技術)の“AN”、エレクトロニクス(電子技術)の“EL”、バキューム(真空技術)の“VA”をつなげた造語である。