This HTML5 document contains 82 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

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Namespace Prefixes

PrefixIRI
n11http://public.ca.sandia.gov/8700/projects/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
template-jahttp://ja.dbpedia.org/resource/Template:
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
dbpedia-wikidatahttp://wikidata.dbpedia.org/resource/
n4http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp/NS/
n19http://www.ca.sandia.gov/industry_partner/LIGA/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n12http://ssls.nus.edu.sg/facility/beamlines/limint/
freebasehttp://rdf.freebase.com/ns/
n15http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n10http://ja.dbpedia.org/resource/Category:
owlhttp://www.w3.org/2002/07/owl#
wikipedia-jahttp://ja.wikipedia.org/wiki/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n20http://www.mancef.org/
dbpedia-jahttp://ja.dbpedia.org/resource/
prop-jahttp://ja.dbpedia.org/property/

Statements

Subject Item
dbpedia-wikidata:Q1638483
owl:sameAs
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:LIGA
rdfs:label
LIGA
rdfs:comment
LIGAとは、高アスペクト比(100:1オーダー)の微細構造を製作する微細加工である。LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ(Lithographie)、電解めっき (Galvanoformung)、形成(Abformung)という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。 1980年代初頭にカールスルーエ核開発研究所(Institut für Kernverfahrenstechnik IKVT)のErwin Willy Beckerとのチームによってウラン濃縮のための圧力勾配で噴出するガスの遠心力を用いる流体素子の一種である同位体分離ノズルを製造するために開発された。 LIGAの主な特徴(X-線 LIGA) * 100:1オーダーの高アスペクト比 * 側面壁の角度は89.95° * 側面壁の表面粗さはRa=10nm程度(光学ミラーとして使用できるレベル) * 構造部の高さは数十umから数mm程度 * 平面方向に数センチにわたってミクロンスケールの微細構造体を実現できる LIGAは高アスペクト比の微細構造物を作成する要求に応える最初の主要な技術の一つである。MEMS素子の製造において重要な役割を担う。高輝度のX線を要するのでシンクロトロン放射光を使用する。 今日では3種類の異なるLIGA技術がある。
owl:sameAs
freebase:m.0bq4np
dct:subject
n10:フォトリソグラフィ n10:金属加工 n10:ナノテクノロジー
dbo:wikiPageID
1453009
dbo:wikiPageRevisionID
83027179
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:フォトマスク dbpedia-ja:ドイツ語 dbpedia-ja:Wolfgang_Ehrfeld dbpedia-ja:サンディア国立研究所 dbpedia-ja:電着 dbpedia-ja:X線 dbpedia-ja:深掘りRIE dbpedia-ja:アスペクト比 dbpedia-ja:シンガポール放射光源 n10:ナノテクノロジー dbpedia-ja:カールスルーエ dbpedia-ja:ウラン濃縮 dbpedia-ja:紫外線 dbpedia-ja:電解めっき dbpedia-ja:ポリマー dbpedia-ja:PMMA dbpedia-ja:流体素子 dbpedia-ja:微細加工 dbpedia-ja:導電体 dbpedia-ja:水銀灯 dbpedia-ja:シンクロトロン放射光 dbpedia-ja:MEMS dbpedia-ja:フォトリソグラフィ n10:フォトリソグラフィ dbpedia-ja:フォトレジスト dbpedia-ja:SU-8 dbpedia-ja:シリコン n10:金属加工 dbpedia-ja:硬化
dbo:wikiPageExternalLink
n4: n11:content.php%3Fcid=14 n12:LIGA.htm n19:LIGA.html n20:liga.htm
prop-ja:wikiPageUsesTemplate
template-ja:Ja_icon template-ja:Multiple_image template-ja:Tech-stub template-ja:Commonscat template-ja:Reflist template-ja:脚注ヘルプ
dbo:thumbnail
n15:LIGA-Doppelumlenksystem.jpg?width=300
foaf:depiction
n15:Optical_Switch2x2.jpg n15:LIGA-Doppelumlenksystem.jpg n15:Microstructure1234.jpg
prop-ja:caption
LIGAプロセスで製造された光スイッチ LIGAプロセスで製造された微細構造体。 LIGAプロセスで製造された同位体分離用ノズル
prop-ja:direction
vertical
prop-ja:image
LIGA-Doppelumlenksystem.jpg Optical Switch2x2.jpg Microstructure1234.jpg
prop-ja:width
200
dbo:abstract
LIGAとは、高アスペクト比(100:1オーダー)の微細構造を製作する微細加工である。LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ(Lithographie)、電解めっき (Galvanoformung)、形成(Abformung)という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。 1980年代初頭にカールスルーエ核開発研究所(Institut für Kernverfahrenstechnik IKVT)のErwin Willy Beckerとのチームによってウラン濃縮のための圧力勾配で噴出するガスの遠心力を用いる流体素子の一種である同位体分離ノズルを製造するために開発された。 LIGAの主な特徴(X-線 LIGA) * 100:1オーダーの高アスペクト比 * 側面壁の角度は89.95° * 側面壁の表面粗さはRa=10nm程度(光学ミラーとして使用できるレベル) * 構造部の高さは数十umから数mm程度 * 平面方向に数センチにわたってミクロンスケールの微細構造体を実現できる LIGAは高アスペクト比の微細構造物を作成する要求に応える最初の主要な技術の一つである。MEMS素子の製造において重要な役割を担う。高輝度のX線を要するのでシンクロトロン放射光を使用する。 今日では3種類の異なるLIGA技術がある。 * X-線 LIGA  * 概要 :最初に開発されたLIGA技術。高価だが高精度で高アスペクト比を実現。できあがった金属三次元形状を金型として利用することで樹脂やセラミックの射出成型も行われる。 * 製造 :導電体基板にX線硬化ポリマーのフォトレジスト(一般にPMMA)を塗布し、シンクロトロン放射光(高エネルギーX線)照射でマスクパターンを転写する。レジスト除去によってできあがる三次元形状の除去されてできた凹部に金属を電着する。次に金属部以外も除去することで金属の三次元形状のみとなる。 * UV-LIGA  *  X線LIGAに比べて実現可能な精度は低下するが、そこまでの高アスペクト比の不要な場合などに安価な方法として用いられる。 *  通常は水銀灯からの紫外線を使用する。またSU-8のような特殊なフォトレジストを使用。マスクにはシンプルなクロムマスクを使う。(X線LIGAでは高価なX線マスクが必要だが、光学マスクでは熱や透過率が問題にならないためクロムマスクで十分) * シリコン-LIGA シリコンの加工にDRIEを使用する。 *  サンディア国立研究所の研究者達が1990年代から2000年代初頭にかけて開発した。
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-ja:LIGA
dbo:wikiPageLength
3831
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-ja:LIGA?oldid=83027179&ns=0
Subject Item
dbpedia-ja:MEMS
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
prop-ja:caption
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:NewSUBARU放射光施設
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:リーガ
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:放射光
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:流体素子
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
prop-ja:caption
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:深掘りRIE
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:ウラン濃縮
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
prop-ja:caption
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:ケイ素
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:ソフトリソグラフィ
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:ナノリソグラフィ
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:MOEMS
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
dbpedia-ja:LIGAプロセス
dbo:wikiPageWikiLink
dbpedia-ja:LIGA
dbo:wikiPageRedirects
dbpedia-ja:LIGA
Subject Item
wikipedia-ja:LIGA
foaf:primaryTopic
dbpedia-ja:LIGA