This HTML5 document contains 28 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

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Namespace Prefixes

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Statements

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dbpedia-ja:基板接合
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基板接合
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基板接合(きばんせつごう、Wafer bonding)とは、基板を接合する技術であり、半導体集積回路作製技術やMEMS作製技術として使用される。主にシリコン基板同士またはシリコン基板と異種材料の基板を接合するために用いられる。
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基板接合(きばんせつごう、Wafer bonding)とは、基板を接合する技術であり、半導体集積回路作製技術やMEMS作製技術として使用される。主にシリコン基板同士またはシリコン基板と異種材料の基板を接合するために用いられる。
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dbpedia-ja:基板接合