武智 敏(たけち さとし)は日本の工学者、技術者。富士通セミコンダクター担当部長。LSI製造に使用されるArFエキシマレーザー光を用いた写真製版(リソグラフィ技術)用の実用的なレジスト(感光性樹脂)の開発で知られる。

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  • 武智 敏(たけち さとし)は日本の工学者、技術者。富士通セミコンダクター担当部長。LSI製造に使用されるArFエキシマレーザー光を用いた写真製版(リソグラフィ技術)用の実用的なレジスト(感光性樹脂)の開発で知られる。 (ja)
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  • 武智敏 (ja)
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