サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS（マイクロマシン）作製技術の一つ。薄膜（数μm程度）を加工してを作製する技術の総称。 集積回路作製技術にを付加したもの。 1. * 2. * リソグラフィ 3. * エッチング の繰り返しでデバイスを作製する。
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