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About: アッシング

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アッシング（英語：ashing ）とはフォトレジストを分解・除去するレジスト剥離、試料を加熱・燃焼し無機化合物にすること（灰化（かいか））の２つの意味を持つ。

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  • アッシング（英語：ashing ）とはフォトレジストを分解・除去するレジスト剥離、試料を加熱・燃焼し無機化合物にすること（灰化（かいか））の２つの意味を持つ。 (ja)
  • アッシング（英語：ashing ）とはフォトレジストを分解・除去するレジスト剥離、試料を加熱・燃焼し無機化合物にすること（灰化（かいか））の２つの意味を持つ。 (ja)
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  • アッシング (ja)
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