酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA、シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で販売されている。 半導体業界では、ウェハーのビス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である。

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  • 酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA、シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で販売されている。 半導体業界では、ウェハーのビス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である。 (ja)
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