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  • 真空フィードスルー(しんくうフィードスルー、英語:Vacuum feedthrough)は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。
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  • 真空フィードスルー(しんくうフィードスルー、英語:Vacuum feedthrough)は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。
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  • 真空フィードスルー
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