Data Table
PropertyValue
dbpedia-owl:abstract
  • 容量結合プラズマ(ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称:CCP)は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。装置内の気圧は大気圧より低いか、大気圧と同程度の場合がある。
dbpedia-owl:wikiPageID
  • 1804383 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageLength
  • 1230 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageOutDegree
  • 18 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageRevisionID
  • 50543118 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageWikiLink
prop-ja:wikiPageUsesTemplate
dcterms:subject
rdfs:comment
  • 容量結合プラズマ(ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称:CCP)は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。装置内の気圧は大気圧より低いか、大気圧と同程度の場合がある。
rdfs:label
  • 容量結合プラズマ
owl:sameAs
prov:wasDerivedFrom
foaf:isPrimaryTopicOf
is dbpedia-owl:wikiPageWikiLink of
is foaf:primaryTopic of