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  • アッシングとはフォトレジストを分解・除去するレジスト剥離、試料を加熱・燃焼し無機化合物にすること(灰化(かいか))の二つの意味を持つ。
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  • アッシングとはフォトレジストを分解・除去するレジスト剥離、試料を加熱・燃焼し無機化合物にすること(灰化(かいか))の二つの意味を持つ。
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  • アッシング
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